特許
J-GLOBAL ID：200903097275163278
フラットパネルキャリヤとその組立方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 英彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-020579
公開番号（公開出願番号）：特開平9-301484
出願日： 1997年02月03日
公開日（公表日）： 1997年11月25日
要約：
【要約】【課題】 特定の任意の寸法を有するキャリヤを容易にかつ迅速に構成することのできるフラットパネルキャリヤとその組立方法の提供。【解決手段】 ウェハーWのキャリヤ20はコネクタ部70,72,73,74,76,78を利用している。コネクタ部はレール52と係合して四角形の枠組36を形成する。パネル係合部38を適当なレール52に組付けて、ウェハーWを受容するためのスロットを形成する。キャリヤ20を持ち運ぶときにウェハーWをキャリヤ20の中で保持するために、前の方の位置でレール52にハンドル44,46が取り付けられる。この構成により、多数の様々な寸法や様々な数のウェハーWに対して、寸法が画一性でなく柔軟性を持たせた形で即座に最適なキャリヤ20が提供できる。また、様々に異なる寸法を有するキャリヤ20を形成するために、相互に交換可能な部材を利用することができることである。
請求項（抜粋）：
上下方向に積み重ねられた複数のフラットパネルを保持するためのモジュール式のフラットパネルキャリヤであって、a)4つのコーナを有するとともに、各コーナに配置されたコーナーコネクタ部を有し、該コーナーコネクタ部の各々が係合部材を有してなる、上側の水平な第1の面部と、b)4つのコーナを有するとともに、各コーナに配置されたコーナーコネクタ部を有し、該コーナーコネクタ部の各々が係合部材を有してなる、下側の水平な第2の面部と、c)第1及び第2の上下方向のコラムを有し、これらのコラムの各々が、前記第1の面部と第2の面部との間を延びていて、各コーナーコネクタの対応する係合部材を用いて前記第1の面部と第2の面部へ連結されており、またこれらのコラムの各々が、上下方向に配置され内側を向いている複数のパネル係合部を有してなる、上下方向の第3の面部と、d)第3及び第4の上下方向のコラムを有し、これらのコラムの各々が、前記第1の面部と第2の面部との間を延びていて、各コーナーコネクタの対応する係合部材を用いて前記第1の面部と第2の面部へ連結されており、またこれらのコラムの各々が、上下方向に配置され内側を向いている複数のパネル係合部を有してなる、上下方向の第4の面部と、e)前記第3及び第4の上下の面部に設けられて上下方向に配置されたパネル係合部によって形成され、パネル載置部を有する複数のパネルスロットと、f)パネルを挿入したり取り出したりするための受容用端部と、を有するフラットパネルキャリヤ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B65D 85/38 R
, H01L 21/68 V
