特許

J-GLOBAL ID：200903097275724490

水蒸気供給システムおよび酸化処理装置

発明者： 千田 茂
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 金坂 憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-259354
公開番号（公開出願番号）：特開平11-087329
出願日： 1997年09月08日
公開日（公表日）： 1999年03月30日
要約：

【要約】【課題】 水蒸気をキャリアガスとの混合により濃度を調整して処理炉に供給する際に生じる結露を防止し、水蒸気濃度の調整および酸化膜の管理の容易化を図る。【解決手段】 水素ガスと酸素ガスを燃焼させて生成した水蒸気を供給する水蒸気供給管5にキャリアガスを供給するキャリアガス供給管6を接続し、水蒸気をキャリアガスと混合しつつ濃度を調整して酸化処理用の処理炉9に供給する水蒸気供給システム1において、上記キャリアガス供給管6にキャリアガスを上記燃焼の温度とほぼ同じ温度に加熱するための加熱手段7を設けている。

請求項（抜粋）：

水素ガスと酸素ガスを燃焼させて生成した水蒸気を供給する水蒸気供給管にキャリアガスを供給するキャリアガス供給管を接続し、水蒸気をキャリアガスと混合しつつ濃度を調整して酸化処理用の処理炉に供給する水蒸気供給システムにおいて、上記キャリアガス供給管にキャリアガスを上記燃焼の温度とほぼ同じ温度に加熱するための加熱手段を設けたことを特徴とする水蒸気供給システム。