特許
J-GLOBAL ID：200903097279242148
合金ターゲットの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-114879
公開番号（公開出願番号）：特開平5-311420
出願日： 1992年05月07日
公開日（公表日）： 1993年11月22日
要約：
【要約】【目的】 透磁率が極めて低く、光磁気記録媒体を作成するためのマグネトロンスパッタリングターゲットとして使用するのに最適な合金ターゲットを提供する【構成】 希土類金属-鉄族金属を主成分とする金属の溶湯を急冷処理することにより凝固させて合金中におけるTb6Fe23の他の金属間化合物に対する比率を増加させ、得られた合金の薄帯叉は粉末を、必要に応じて粉砕し、型に入れて焼結するもの。
請求項（抜粋）：
希土類金属-鉄族金属を主成分とする金属の溶湯を急冷処理することにより凝固させ、得られた合金の薄帯叉は粉末を、必要に応じて粉砕し、型に入れて焼結することを特徴とする合金ターゲットの製造方法。
IPC (3件)：
C23C 14/34
, C22C 33/02
, C22C 38/00 304
