特許
J-GLOBAL ID：200903097284864165
ペリクル用枠体
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中川 周吉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-141111
公開番号（公開出願番号）：特開2002-333703
出願日： 2001年05月11日
公開日（公表日）： 2002年11月22日
要約：
【要約】【課題】 ペリクル膜を展張して貼着支持し得るペリクル用枠体であって、特に前記ペリクル膜を枠体に展張して貼着した際に、該枠体の各辺が内側に撓むことを抑制することが可能なペリクル用枠体を目的とする。【解決手段】 ペリクル膜2を展張して貼着支持し得る一対の長辺1aと一対の短辺1bとより構成される枠体1であって、その枠体1の各隅部の断面積が中心部の断面積より連続して徐々に大きくなるように構成された枠体1の構造である。
請求項（抜粋）：
ペリクル膜を展張して貼着支持するペリクル用枠体であって、前記枠体は少なくとも4辺からなり、該辺の内の2辺が交差する隅部から辺の中心部にかけての断面積に於いて、該隅部の断面積が該辺の中心部の断面積より大きく構成されていることを特徴とするペリクル用枠体。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F 1/14 K
, H01L 21/30 502 P
