特許

J-GLOBAL ID：200903097285990601

感光性イミド系樹脂組成物、絶縁膜およびその形成法

発明者： 安野 弘
出願人/特許権者： 宇部興産株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-156516
公開番号（公開出願番号）：特開2002-351073
出願日： 2001年05月25日
公開日（公表日）： 2002年12月04日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】耐熱性や耐薬品性(耐アルカリ)及び高絶縁性を有しているイミド系感光性樹脂組成物、絶縁膜および絶縁膜の形成法を提供する。【解決手段】 (1)テトラカルボン酸二無水物100モル%に対してエポキシ基との反応性官能基を有する芳香族ジアミン10〜50モル%とジアミノポリシロキサン10〜70モル%と複数環芳香族ジアミン0〜20モル%とのジアミン合計が70〜90モル%の割合で反応させて得られたエポキシ基との反応性官能基を有するイミドシロキサンオリゴマ-と感光基を有するエポキシ化合物との反応物である感光性イミドシロキサンオリゴマ-、(2)不飽和結合を有するイソシアネ-ト、(3)光開始剤、(4)(メタ)アクリロイル基を有するリン酸エステル系光架橋剤および(5)有機溶媒からなる感光性イミド系樹脂組成物、その絶縁膜、及びその形成法。

請求項（抜粋）：

(1)テトラカルボン酸二無水物100モル%に対してエポキシ基との反応性官能基を有する芳香族ジアミン10〜50モル%とジアミノポリシロキサン10〜70モル%と複数環芳香族ジアミン0〜20モル%とのジアミン合計が70〜90モル%の割合で反応させて得られたエポキシ基との反応性官能基を有するイミドシロキサンオリゴマ-と感光基を有するエポキシ化合物との反応物である感光性イミドシロキサンオリゴマ-、(2)不飽和結合を有するイソシアネ-ト、(3)光開始剤、(4)(メタ)アクリロイル基を有するリン酸エステル系光架橋剤および(5)有機溶媒からなり、各成分の割合が、(1)感光性イミドシロキサンオリゴマ-100重量部に対して、(2)前記イソシアネ-ト1〜80重量部、(3)光開始剤0.01〜30重量部および(4)前記光架橋剤1〜15重量部である感光性イミド系樹脂組成物。

IPC (14件)：

G03F 7/038 504 ,  C08F290/14 ,  C08G 73/12 ,  C09D 4/00 ,  C09D 5/00 ,  C09D 5/25 ,  C09D175/14 ,  C09D179/08 ,  C09D183/07 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/027 501 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/075 511 ,  G03F 7/40 501

FI (14件)：

G03F 7/038 504 ,  C08F290/14 ,  C08G 73/12 ,  C09D 4/00 ,  C09D 5/00 Z ,  C09D 5/25 ,  C09D175/14 ,  C09D179/08 Z ,  C09D183/07 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/027 501 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/075 511 ,  G03F 7/40 501

Fターム (163件)：

2H025AA07 ,  2H025AA08 ,  2H025AA10 ,  2H025AA20 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025BC69 ,  2H025BC79 ,  2H025BC83 ,  2H025BC84 ,  2H025CA01 ,  2H025CA28 ,  2H025CC03 ,  2H025CC08 ,  2H025FA01 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H096AA26 ,  2H096BA06 ,  2H096BA20 ,  2H096DA01 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  2H096JA04 ,  4J027AD06 ,  4J027AE05 ,  4J027AF06 ,  4J027BA07 ,  4J027BA08 ,  4J027BA13 ,  4J027BA14 ,  4J027BA16 ,  4J027BA17 ,  4J027BA19 ,  4J027BA20 ,  4J027BA24 ,  4J027BA26 ,  4J027BA28 ,  4J027CA11 ,  4J027CA21 ,  4J027CA36 ,  4J027CB10 ,  4J027CC05 ,  4J027CD10 ,  4J038DG101 ,  4J038FA071 ,  4J038FA211 ,  4J038FA241 ,  4J038FA251 ,  4J038FA281 ,  4J038FA291 ,  4J038GA07 ,  4J038GA14 ,  4J038GA15 ,  4J038HA376 ,  4J038HA446 ,  4J038HA536 ,  4J038JA20 ,  4J038JA25 ,  4J038JA29 ,  4J038JA32 ,  4J038JA63 ,  4J038JA74 ,  4J038JB10 ,  4J038JB12 ,  4J038JB22 ,  4J038JB26 ,  4J038JB27 ,  4J038JB32 ,  4J038JB36 ,  4J038JC11 ,  4J038JC12 ,  4J038JC16 ,  4J038JC17 ,  4J038KA03 ,  4J038KA06 ,  4J038KA08 ,  4J038KA20 ,  4J038LA01 ,  4J038MA09 ,  4J038NA04 ,  4J038NA12 ,  4J038NA14 ,  4J038NA21 ,  4J038NA26 ,  4J038PA17 ,  4J038PA19 ,  4J038PB11 ,  4J038PC02 ,  4J038PC03 ,  4J038PC08 ,  4J043PA05 ,  4J043PA06 ,  4J043PA08 ,  4J043PA19 ,  4J043PB02 ,  4J043PC036 ,  4J043PC066 ,  4J043QB31 ,  4J043RA35 ,  4J043SA06 ,  4J043SA62 ,  4J043SA71 ,  4J043SA85 ,  4J043SB03 ,  4J043SB04 ,  4J043TA22 ,  4J043TB01 ,  4J043UA032 ,  4J043UA042 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA141 ,  4J043UA151 ,  4J043UA262 ,  4J043UB011 ,  4J043UB012 ,  4J043UB021 ,  4J043UB022 ,  4J043UB061 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB152 ,  4J043UB301 ,  4J043UB302 ,  4J043UB321 ,  4J043UB322 ,  4J043UB331 ,  4J043UB351 ,  4J043UB352 ,  4J043UB401 ,  4J043UB402 ,  4J043VA012 ,  4J043VA021 ,  4J043VA022 ,  4J043VA031 ,  4J043VA041 ,  4J043VA051 ,  4J043VA061 ,  4J043VA062 ,  4J043VA081 ,  4J043VA092 ,  4J043VA101 ,  4J043VA102 ,  4J043WA09 ,  4J043XA13 ,  4J043YA06 ,  4J043YB19 ,  4J043YB29 ,  4J043ZA06 ,  4J043ZA12 ,  4J043ZA16 ,  4J043ZA46 ,  4J043ZB03 ,  4J043ZB50