特許
J-GLOBAL ID：200903097289865836

機器制御システム、制御装置及び機器制御方法

発明者：
小原 浅巳

小原 浅巳 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 木村 満
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-081707
公開番号（公開出願番号）：特開2003-282387
出願日： 2002年03月22日
公開日（公表日）： 2003年10月03日
要約：
【要約】【課題】 被制御機器の操作入力部を直接操作しているのと同様の感覚で遠隔操作を行うことを可能とする。【解決手段】 被制御機器10は、Xサーバ101と、RFBサーバ103と、VNCサーバ107と、データエージェント111と、CCD14を備える。Xサーバ101は入力操作を装置画面の表示に反映する。RFBサーバ103は、表示内容の変化を検出し、RFBプロトコルにより、更新された画像データを制御装置に送信し、一方、制御装置からの操作指示をXサーバ101に伝達する。VNCサーバ107は、メンテナンス用画面を制御装置に提供し、このメンテナンス用画面を用いて入力された操作指示をプログラムに渡して実行させる。データエージェント111は、制御装置からの操作指示に応答して、各操作プログラム207を起動・制御して、プロセスを制御する。CCD14は、被制御機器10の画像をストリーミングで制御装置に提供する。
請求項（抜粋）：
制御装置より遠隔操作により被制御機器を制御するための機器制御システムであって、前記被制御機器は、操作画面を表示する表示部と、入力部と、前記表示部の表示内容と実質的に同一の表示内容を制御装置に表示させるための画像データを出力し、前記入力部又は前記制御装置からの操作指示に応答して前記表示部の表示内容を更新する手段と、を備え、前記制御装置は、前記被制御機器より伝達された画像データを受信して表示する手段と、操作入力を前記被制御機器に送信する手段と、を備え、被制御機器の表示部と制御装置の表示部とに実質的に同一の操作画面を表示し、操作可能としたことを特徴とする機器制御システム。
IPC (6件)：
H01L 21/02 ,  H01L 21/205 ,  H04Q 9/00 301 ,  H04Q 9/00 321 ,  H04Q 9/00 331 ,  H04Q 9/00 361
FI (6件)：
H01L 21/02 Z ,  H01L 21/205 ,  H04Q 9/00 301 B ,  H04Q 9/00 321 E ,  H04Q 9/00 331 A ,  H04Q 9/00 361
Fターム (24件)：
5F045BB10 ,  5F045DP28 ,  5F045EC02 ,  5F045GB05 ,  5F045GB06 ,  5F045GB15 ,  5K048AA05 ,  5K048BA21 ,  5K048BA35 ,  5K048DA03 ,  5K048DA05 ,  5K048DA07 ,  5K048DC03 ,  5K048EB02 ,  5K048EB07 ,  5K048EB15 ,  5K048FB05 ,  5K048FB10 ,  5K048FB11 ,  5K048FC01 ,  5K048HA01 ,  5K048HA02 ,  5K048HA13 ,  5K048HA21
引用特許：
審査官引用 (6件)
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