特許

J-GLOBAL ID：200903097299657387

改善された側壁形状および現像許容度を有する光重合性組成物

発明者： マーク ロバート マッキバー
出願人/特許権者： イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー
代理人 (1件)： 谷 義一 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-242314
公開番号（公開出願番号）：特開平11-133602
出願日： 1998年08月27日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：

【要約】【課題】 イメージングにおいて改善された側壁形状および現像の許容度を与える光重合組成物および関連した要素およびプロセスの提供。【解決手段】 下式に示す化学式を有するポリマー結合剤を含有する光重合性組成物。(A)w (B)x (C)y (D)zここで、Aは置換されたまたは無置換のC4 -C10アルキルメタクリレートであり、Bは置換されたまたは無置換のC4 -C10アルキルアクリレートであり、Cはメタクリル酸メチルおよびメタクリル酸エチルから成る群から選択され、Dはメタクリル酸およびアクリル酸から成る群から選択され;およびここで、 w、x、yおよびzは前記ポリマー結合剤のコモノマーの重量%であり、wが5から40%、xが5から40%、yが10から70%、zが15から30%である。特定の実施の形態においては、スチレンがポリマー結合剤の必要に応じて有してもよいさらなるコモノマーである。

請求項（抜粋）：

画像状の露光および現像において良好な側壁形状を与えるために処方された光重合性組成物であって、前記組成物が:(a)20,000から160,000の範囲の重量平均分子量を有するポリマー結合剤であって、前記結合剤が:(A)w (B)x (C)y (D)z (式I)または(A)w (B)x (C)y (D)z (E)u (式II)を化学式を有するポリマーを有し、ここで、Aは置換されたまたは無置換のC4 -C10アルキルメタクリレートであり、Bは置換されたまたは無置換のC4 -C10アルキルアクリレートであり、Cはメタクリル酸メチルおよびメタクリル酸エチルから成る群から選択され、Dはメタクリル酸およびアクリル酸から成る群から選択され、Eはスチレンであり;およびここでw、x、yおよびzは前記ポリマー結合剤のコモノマーの重量%であり、wが5から40%、xが5から40%、yが10から70%、zが15から30%、およびuが1から30%である、前記ポリマー結合剤と;(b)少なくとも一つのエチレン性不飽和モノマーと;(c)光開始剤または光開始剤系から成る群から選択される少なくとも1つの成分とで実質的に構成され、前記光重合性組成物が成分(a)の中和または部分的中和に用いられる塩基性化合物を含有しないことを条件として伴うことを特徴とする光重合性組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/033 ,  C08F 2/46 ,  C09J201/00 ,  G03F 7/027

FI (4件)：

G03F 7/033 ,  C08F 2/46 ,  C09J201/00 ,  G03F 7/027

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-294301
  
• 特開昭58-001142
  
• 積層方法及び積層フィルム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-250265   出願人：日立化成工業株式会社
• 特開平3-134669