特許

J-GLOBAL ID：200903097305809429

除振装置

発明者： 海沼 正邦 ,  青樹 壽一 ,  玉置 恵司 ,  藤田 知正 ,  珍田 寛
出願人/特許権者： 藤倉ゴム工業株式会社
代理人 (1件)： 三浦 邦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-245335
公開番号（公開出願番号）：特開2003-056640
出願日： 2001年08月13日
公開日（公表日）： 2003年02月26日
要約：

【要約】【目的】 特に水平方向の固有振動数を低下させることのできる除振装置を得る。【構成】 固定台上に、垂直方向に拡縮可能な垂直方向圧力室を介して中間可動台を支持し、この中間可動台上に、揺動変位可能にして除振可動台を支持し、この除振可動台と固定台との間に、水平方向に拡縮可能な対をなす水平方向圧力室を形成した除振装置。

請求項（抜粋）：

固定台と;この固定台上に、垂直方向に拡縮可能な垂直方向圧力室を介して支持された中間可動台と;この中間可動台上に、揺動変位可能に支持された除振可動台と;この除振可動台と上記固定台との間に形成された、水平方向に拡縮可能な対をなす水平方向圧力室と;を有することを特徴とする除振装置。

IPC (2件)：

F16F 15/04 ,  F16F 15/02

FI (2件)：

F16F 15/04 E ,  F16F 15/02 A

Fターム (6件)：

3J048AD01 ,  3J048BE02 ,  3J048BE13 ,  3J048DA01 ,  3J048DA04 ,  3J048EA13

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 除振装置、これを用いた露光装置およびデバイス製造方法、ならびに除振方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-095893   出願人：キヤノン株式会社
• 特公昭62-007409