特許

J-GLOBAL ID：200903097308533548

半導体装置の製造方法

発明者： 籠谷 浩司
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 服部 毅巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-000550
公開番号（公開出願番号）：特開2002-203780
出願日： 2001年01月05日
公開日（公表日）： 2002年07月19日
要約：

【要約】【課題】 半導体装置の導体パターン形成時におけるフォトレジストの倒壊、消失、飛散といった問題を排除し、製造される半導体装置の特性を安定させる。【解決手段】 フォトレジスト形成工程によって、金属配線層3上に導体パターンの反転イメージパターンを有するフォトレジスト5を形成し、マスク材塗布工程によって、フォトレジスト5上にSOGを塗布し、フォトレジスト5の反転イメージパターン内にSOGを充填し、マスク材硬化工程によって、SOGを硬化させ、不要マスク材除去工程によって、フォトレジスト5の上部に位置するSOGを除去し、フォトレジスト除去工程によって、フォトレジスト5を除去し、導体パターン形成工程によって、残存したSOG6a、6bをエッチングマスクとしてエッチングを行い、導体パターン3a、3bの形成を行う。

請求項（抜粋）：

微細導体パターンを有する半導体装置の製造方法において、金属配線層上に前記導体パターンの反転イメージパターンを有するフォトレジストを形成するフォトレジスト形成工程と、前記フォトレジスト上にマスク材を塗布し、前記フォトレジストの前記反転イメージパターン内に前記マスク材を充填するマスク材塗布工程と、前記マスク材を硬化させるマスク材硬化工程と、前記フォトレジストの上部に位置する前記マスク材を除去する不要マスク材除去工程と、前記フォトレジストを除去するフォトレジスト除去工程と、残存した前記マスク材をエッチングマスクとしてエッチングを行い、前記導体パターンの形成を行う導体パターン形成工程と、を特徴とする半導体装置の製造方法。

IPC (7件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/095 ,  G03F 7/40 501 ,  G03F 7/40 521 ,  H01L 21/28 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/3213

FI (7件)：

G03F 7/095 ,  G03F 7/40 501 ,  G03F 7/40 521 ,  H01L 21/28 F ,  H01L 21/30 570 ,  H01L 21/302 J ,  H01L 21/88 D

Fターム (82件)：

2H025AA03 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC06 ,  2H025AC08 ,  2H025BB03 ,  2H025BJ10 ,  2H025DA13 ,  2H025DA24 ,  2H025DA40 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H096AA25 ,  2H096BA13 ,  2H096DA01 ,  2H096EA03 ,  2H096EA04 ,  2H096EA06 ,  2H096FA01 ,  2H096GA09 ,  2H096JA01 ,  2H096LA03 ,  2H096LA06 ,  2H096LA07 ,  4M104BB01 ,  4M104BB14 ,  4M104BB18 ,  4M104CC01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD37 ,  4M104DD66 ,  4M104DD71 ,  4M104EE05 ,  4M104EE14 ,  4M104EE15 ,  4M104FF14 ,  4M104FF17 ,  4M104FF18 ,  4M104HH09 ,  4M104HH14 ,  5F004AA04 ,  5F004AA16 ,  5F004EA03 ,  5F004EA06 ,  5F004EA27 ,  5F004EB02 ,  5F033HH04 ,  5F033HH09 ,  5F033HH18 ,  5F033HH28 ,  5F033HH33 ,  5F033JJ19 ,  5F033KK00 ,  5F033MM07 ,  5F033MM08 ,  5F033MM13 ,  5F033PP06 ,  5F033PP15 ,  5F033QQ04 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ10 ,  5F033QQ13 ,  5F033QQ16 ,  5F033QQ18 ,  5F033QQ28 ,  5F033QQ30 ,  5F033QQ31 ,  5F033QQ52 ,  5F033RR04 ,  5F033RR08 ,  5F033RR09 ,  5F033RR25 ,  5F033RR27 ,  5F033SS11 ,  5F033SS22 ,  5F033VV06 ,  5F033XX03 ,  5F033XX12 ,  5F046MA17