特許
J-GLOBAL ID：200903097313639427
圧電型振動センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-193766
公開番号（公開出願番号）：特開平7-049354
出願日： 1993年08月04日
公開日（公表日）： 1995年02月21日
要約：
【要約】【目的】 圧電型振動センサを小型化させる。【構成】 圧電体31と、該圧電体31の両面に配設される第一の電極36および第二の電極40と、第一の電極36に接続される電気回路用電極46が設けられた基板32と、第二の電極40に取り付けられた荷重体33とを具備する。第二の電極40は、x軸上に一対配されたx軸用分割電極40aと、y軸上に一対配されたy軸用分割電極40bとを有する。x軸上またはy軸上に配した接続用電極41、42を、第二の電極40と荷重体33との間に絶縁板37を介して積み重ねる。これら接続用電極41、42と絶縁板37とに、これらを貫通するスルーホール41c、42c、37cを形成する。これらスルーホール41c、42c、37cに、一対のx軸用分割電極40aまたは一対のy軸用分割電極40bと接続用電極41、42とを電気的に接続する接続部を設ける。
請求項（抜粋）：
圧電体と、該圧電体の両面に配設される一対の複層積層電極と、これら複層積層電極の一方に接続される電気回路用電極が設けられた基板と、複層積層電極の他方に取り付けられた荷重体とを具備し、該他方の複層積層電極は、圧電体の平面におけるx軸の変位を検出する一対のx軸用分割電極とy軸の変位を検出する一対のy軸用分割電極とを有し、これらx軸用分割電極およびy軸用分割電極と荷重体との間には、x軸上またはy軸上に配された接続用電極が絶縁板を介して積み重ねられ、これら接続用電極と絶縁板とには、これらを貫通するスルーホールが形成され、該スルーホールには、前記一対のx軸用分割電極または一対のy軸用分割電極と接続用電極とを電気的に接続する接続部が設けられていることを特徴とする圧電型振動センサ。
IPC (2件)：
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