特許
J-GLOBAL ID：200903097319092691
欠陥検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
棚井 澄雄
, 志賀 正武
, 青山 正和
, 鈴木 三義
, 高柴 忠夫
, 増井 裕士
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-314067
公開番号（公開出願番号）：特開2008-128811
出願日： 2006年11月21日
公開日（公表日）： 2008年06月05日
要約：
【課題】欠陥検査装置において、複数の角度方向に出射される基板からの光を用いて、効率的に検査を行うことができるようにする。【解決手段】基板21を載置して照明領域Lの長手方向と直交する方向に相対移動させる移動ステージ13と、照明領域Lに照明光を照射する第1照明部10、第2照明部11、第3照明部12と、照明領域Lからの光を結像する結像光学系25と、基板21の像を取得する1次元撮像部27と、各照明部からの照明光の入射角度を互いに異なる角度に設定する角度設定部とを備え、各照明部は、照明光として互いに異なる波長の光を照射し、1次元撮像部27は、互いに異なる波長の光をそれぞれ選択するダイクロイックミラー30、31と、選択された波長の光をそれぞれ受光する第1受光部201、第2受光部202、第3受光部203とから構成される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被検体である基板を載置する載置台と、
該載置台に載置された前記基板に対し、ライン状の照明領域に照明光を照射する複数の照明部と、
前記基板上の前記照明領域からの光を結像する結像光学系と、
該結像光学系で結像された前記基板の像を取得する1次元撮像部と、
前記載置台に載置された基板を、前記照明領域の長手方向と直交する方向に相対移動させる移動ステージと、
前記複数の照明部からの各照明光の、前記照明領域に対する入射角度を互いに異なる角度に設定する角度設定部とを備え、
前記複数の照明部は、照明光として互いに異なる波長の光を照射し、
前記1次元撮像部は、前記互いに異なる波長の光をそれぞれ選択する波長選択手段と、該波長選択手段により選択された波長の光をそれぞれ受光する複数の受光部とから構成されることを特徴とする欠陥検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (18件)：
2G051AA51
, 2G051AA56
, 2G051AB02
, 2G051BA01
, 2G051BA08
, 2G051BB01
, 2G051BC01
, 2G051CA03
, 2G051CA07
, 2G051CB01
, 2G051CB05
, 2G051CB06
, 2G051CC07
, 2G051CC12
, 2G051CD07
, 2G051DA05
, 2G051EA14
, 2G051ED11
