特許

J-GLOBAL ID：200903097325314116

セラミックヒータ

発明者： 伊藤 康隆
出願人/特許権者： イビデン株式会社
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-182883
公開番号（公開出願番号）：特開2000-012195
出願日： 1998年06月29日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：

【要約】【課題】 電極の外部取り出し位置に制約を受けにくく、ヒータ電極層のマルチチャンネル化にも好適な静電チャックを提供すること。【解決手段】 ヒータ電極層4がある層L2 とは異なる層L3 に、引き回し用導体層5,6を形成する。第1のスルーホール11a,11bにより、引き回し用導体層5,6とヒータ電極層4とを層間接続する。第1のスルーホール11a,11bとは異なる位置に形成された第2のスルーホール12a,12bにより、引き回し用導体層5と非チャック側面S2 とを層間接続する。その結果、ヒータ電極層4の正負両極が実質的に非チャック側面S2 から取り出される。スルーホール11a,11b,12a,12bを介してヒータ電極層4へ通電を行えば、被吸着物W1 の加熱を行うことができる。

請求項（抜粋）：

セラミックス焼結体製の多層基板の内層に形成されたヒータ電極層と、そのヒータ電極層の正負両極を取り出すべく同ヒータ電極層にそれぞれ接続されたスルーホールとを備え、これらのスルーホールを介した前記ヒータ電極層への通電により被吸着物の加熱を行うセラミックヒータであって、前記ヒータ電極層がある層とは異なる層に引き回し用導体層を形成するとともに、第1のスルーホールにより前記引き回し用導体層と前記ヒータ電極層とを層間接続し、かつ前記第1のスルーホールとは異なる位置に形成された第2のスルーホールにより前記引き回し用導体層と外部露出面とを層間接続したことを特徴とするセラミックヒータ。

IPC (2件)：

H05B 3/20 328 ,  H05B 3/14

FI (2件)：

H05B 3/20 328 ,  H05B 3/14 B

Fターム (30件)：

3K034AA02 ,  3K034AA34 ,  3K034AA37 ,  3K034BB06 ,  3K034BB13 ,  3K034BC12 ,  3K034BC23 ,  3K034CA34 ,  3K034CA39 ,  3K034EA01 ,  3K034HA01 ,  3K034HA10 ,  3K034JA01 ,  3K092PP20 ,  3K092QA05 ,  3K092QB02 ,  3K092QB31 ,  3K092QB47 ,  3K092QB74 ,  3K092QB76 ,  3K092QC02 ,  3K092QC25 ,  3K092QC62 ,  3K092RF02 ,  3K092RF11 ,  3K092RF17 ,  3K092RF22 ,  3K092VV03 ,  3K092VV19 ,  3K092VV22