特許

J-GLOBAL ID：200903097326349835

流速計及び流量計

発明者： 木村 繁男 ,  木綿 隆弘 ,  金岡 佳充 ,  谷川 純也
出願人/特許権者： 矢崎総業株式会社
代理人 (4件)： 瀧野 秀雄 ,  越智 浩史 ,  松村 貞男 ,  垣内 勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-289184
公開番号（公開出願番号）：特開2007-101270
出願日： 2005年09月30日
公開日（公表日）： 2007年04月19日
要約：

【課題】フローセンサの熱源の駆動信号と温度センサからの流速信号との位相差に基づいて流路上の流体の流速乃至流量を測定するに当たり、両信号の位相差測定の分解能を高めつつ、実流速の変化に対する測定流速の追従性の低下を防ぎ、流体の流速乃至流量測定の精度を確保できる流速計及び流量計を提供すること。【解決手段】流路におけるガスの流れる条件が等しい3箇所にフローセンサ3を各々配置し、各フローセンサ3のマイクロヒータ33を駆動回路5により1/3ずつ位相をずらした正弦波の駆動信号により通電駆動し、流路におけるガスの流れ方向にマイクロヒータ33から間隔をおいて配置した各フローセンサ3のサーモパイル35がマイクロヒータ33から放出される熱を検出しその温度に応じて出力する流速信号との位相差に応じて、各流速測定ユニットAの位相差信号出力回路11が出力する位相差信号に基づいて、流路を流れるガスの流速を駆動信号の1/3周期毎に演算装置13で測定する構成とした。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

一定の周期で電圧が変化する周期電圧波形の駆動信号により通電駆動される熱源と、該熱源が放出又は吸収する熱を検出しその温度に応じた流速信号を出力する温度センサとを有するフローセンサを、被測定対象の流体の流路上に、前記熱源と前記温度センサとが前記流路における流体の流れ方向に間隔をおくように配置し、前記流速信号と前記駆動信号との位相差を検出した位相差信号出力手段が該位相差に応じて出力する位相差信号に基づいて、前記流路を流れる流体の流速を測定する流速計において、 前記流路の前記流体の流れる条件が等しいn箇所(n=2以上の整数)に各々配置される前記フローセンサと、 前記各フローセンサを相互に熱的に絶縁する熱絶縁手段と、 前記各フローセンサの前記熱源を、前記駆動信号の1/n周期ずつ互いに位相をずらした前記駆動信号により各々通電駆動する駆動手段とを備えており、 前記駆動信号の1/n周期おきに順次前記位相差信号出力手段により検出される前記各フローセンサ毎の前記流速信号と前記駆動信号との位相差に応じた前記位相差信号に基づいて、前記流路を流れる流体の流速を、前記駆動信号の1/n周期おきに測定する、 ことを特徴とする流速計。

IPC (2件)：

G01P 5/18 ,  G01F 1/708

FI (2件)：

G01P5/18 B ,  G01F1/708

Fターム (2件)：

2F035FA08 ,  2F035FB03

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 熱移動型流体検知装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-358108   出願人：本田技研工業株式会社