特許

J-GLOBAL ID：200903097339426723

位置合わせ装置

発明者： 萩庭 邦保
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-201955
公開番号（公開出願番号）：特開平7-037770
出願日： 1993年07月23日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：

【要約】【目的】 プロセスや装置の状態によりさまざまな誤差要因を含んだウエハに対し、常に高精度なアライメントを実現する。【構成】 基板W上の複数の領域を順に所望の位置にアライメントする位置合わせ装置において、複数の補正方法を記憶する手段12と、前記基板上の複数の所定の領域のマークを検出する手段Sと、検出されたマークの信号に基づいて前記所定の領域の位置または位置エラーに関連する測定位置データを求め、前記マーク信号または前記測定位置データの状態から前記所定の領域のそれぞれの測定位置データの信頼度を算出する手段6,7,8,9,13と、算出した信頼度から前記信頼度の分散や平均等の統計量を算出し、その算出結果に基づいて前記記憶手段に記憶されている複数の補正方法のうちの1つを選択する手段9と、選択した補正方法を用いて前記測定位置データを補正し、得られた補正位置データに基づいて前記基板の移動を制御する手段9,10,11とを設ける。

請求項（抜粋）：

基板上の複数の領域を順に所望の位置にアライメントする位置合わせ装置において、複数の補正方法を記憶する手段と、前記基板上の複数の所定の領域のマークを検出する手段と、検出されたマークの信号に基づいて前記所定の領域の位置または位置エラーに関連する測定位置データを求め、前記マーク信号または前記測定位置データの状態から前記所定の領域のそれぞれの測定位置データの信頼度を算出する手段と、算出した信頼度から所定の統計量を算出し、その算出結果に基づいて前記記憶手段に記憶されている複数の補正方法のうちの1つを選択する手段と、選択した補正方法を用いて前記測定位置データを補正し、得られた補正位置データに基づいて前記基板の移動を制御する手段とを具備することを特徴とする位置合わせ装置。