特許
J-GLOBAL ID：200903097348086951
光スキャナとその駆動方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 章夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-205707
公開番号（公開出願番号）：特開平11-052278
出願日： 1997年07月31日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：
【要約】【課題】 低電圧で駆動でき、しかも偏向角度が大きく、かつ小型化を可能にした光スキャナを提供する。【解決手段】 支持基板1にトーションバー3a,3bで支持されて支持基板1の平面方向と垂直な方向に揺動可能とされたミラー2と、このミラーの両側位置において前記支持基板1に支持された固定電極7a,7bとを備え、これら固定電極7a,7bとミラー2に設けられた電極部5との間に電圧を印加し、両者間に生じる静電引力によってミラー2を揺動させる構成の光スキャナにおいて、前記固定電極7a,7bとミラー2は、ミラーの揺動方向には重ならない平面形状に形成される。固定電極7a,7bとミラー電極部5との間隔を小さくしても相互干渉が防止できるため、低電圧でしかも偏向角度の大きな、かつ小型の光スキャナが得られる。
請求項（抜粋）：
支持基板にトーションバーで支持されて、前記支持基板の平面方向と垂直な方向に揺動可能とされたミラーと、前記トーションバーを挟むミラーの両側位置において前記支持基板に支持された固定電極とを備え、前記固定電極と前記ミラーに設けられた電極部との間に電圧を印加し、両者間に生じる静電引力によって前記ミラーを揺動させる構成の光スキャナにおいて、前記固定電極とミラーとは、前記ミラーの揺動方向には重ならない平面形状に形成されていることを特徴とする光スキャナ。
IPC (2件)：
G02B 26/10 104
, H04N 1/113
G02B 26/10 104 Z
, H04N 1/04 104 Z
