特許

J-GLOBAL ID：200903097350352219

電子銃及び電子銃の制御方法

発明者： 中筋 護
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-042879
公開番号（公開出願番号）：特開2000-243334
出願日： 1999年02月22日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
要約：

【要約】【目的】電子線縮小転写装置用の電子銃に適した、電子線(ビーム)強度分布一様性を得ることができる電子銃を提供する。【解決手段】電子放出面を有するカソードと、電子を引き出すアノードと、前記カソードの裏面に電子衝撃を与えるためのヒーターを備えた電子銃において、前記ヒーターは独立に電圧制御可能な複数のヒーターからなることを特徴とする電子銃。

請求項（抜粋）：

電子放出面を有するカソードと、電子を引き出すアノードと、前記カソードの裏面に電子衝撃を与えるためのヒーターを備えた電子銃において、前記ヒーターは独立に電圧制御可能な複数のヒーターからなることを特徴とする電子銃。

IPC (3件)：

H01J 37/065 ,  H01J 37/04 ,  H01J 37/075

FI (3件)：

H01J 37/065 ,  H01J 37/04 A ,  H01J 37/075

Fターム (4件)：

5C030AA04 ,  5C030AB03 ,  5C030BB02 ,  5C030BC02