特許

J-GLOBAL ID：200903097351173210

レーザビーム走査システム

発明者： 松本 光弘
出願人/特許権者： 旭光学工業株式会社
代理人 (1件)： 松岡 修平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-307665
公開番号（公開出願番号）：特開2001-125017
出願日： 1999年10月28日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：

【要約】【課題】 常に走査軌跡の、描画面上における主走査方向に平行な所定の直線に対するずれ量を検出して、補正することができ、かつ製造過程での補正処理に掛かる、時間的、経済的な負担を軽減することができるレーザビーム走査システムを提供する。【解決手段】 レーザビーム走査システムは、レーザビームを描画面(5)上を主走査方向に走査させ、描画面(5)を前記主走査方向と直交する副走査方向に移動させるレーザビーム描画装置に用いるものであって、描画のためのレーザビームを出力する光源(1)と、描画面(5)上で主走査方向と平行な描画ラインでレーザビームを走査させるための偏向手段(4)と、レーザビームの描画面(5)における通過位置に基づいて、レーザビームの走査軌跡の、所定の直線に対するずれ量を検出するずれ量検出手段(6A、6B、7)と、ずれ量に基づいて、所定の直線上でレーザビームの走査軌跡が描かれるように、レーザビームの描画面(5)上における通過位置の補正を行う補正手段(8、3)とを有する。

請求項（抜粋）：

レーザビームを描画面上で主走査方向に走査させ、前記描画面を前記主走査方向と直交する副走査方向に移動させて描画を行うレーザビーム描画装置に用いるレーザビーム走査システムにおいて、描画のためのレーザビームを出力する光源と、前記描画面上で主走査方向と平行な所定の直線上で前記レーザビームを走査させるための偏向手段と、前記レーザビームの前記描画面における通過位置に基づいて、前記レーザビームの走査軌跡の、前記所定の直線に対するずれ量を検出するずれ量検出手段と、前記ずれ量に基づいて、前記所定の直線上で前記レーザビームの前記走査軌跡が描かれるように、前記レーザビームの前記描画面上における通過位置の補正を行う補正手段と、を有することを特徴とする、レーザビーム走査システム。

IPC (4件)：

G02B 26/10 ,  G02B 26/10 102 ,  B41J 2/44 ,  H04N 1/113

FI (5件)：

G02B 26/10 A ,  G02B 26/10 D ,  G02B 26/10 102 ,  B41J 3/00 D ,  H04N 1/04 104 A

Fターム (21件)：

2C362AA48 ,  2C362BA04 ,  2C362BA22 ,  2C362BA83 ,  2C362BB04 ,  2C362BB08 ,  2C362BB29 ,  2C362BB32 ,  2C362BB46 ,  2C362BB49 ,  2H045AA01 ,  2H045AD01 ,  2H045BA02 ,  2H045CA22 ,  2H045CA88 ,  5C072AA03 ,  5C072BA17 ,  5C072HA02 ,  5C072HA13 ,  5C072HA15 ,  5C072HB08