特許

J-GLOBAL ID：200903097356323016

非導電性粉末試料の走査電子顕微鏡観察用試料前処理方法

発明者： 下村 順一 ,  菊池 朝夫
出願人/特許権者： 川崎製鉄株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-252827
公開番号（公開出願番号）：特開平5-060666
出願日： 1991年09月05日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：

【要約】【目的】 非導電性粉末試料を走査電子顕微鏡で観察する際の試料前処理方法を提供する。【構成】 金属製の試料ステージの表面に所定の粗さを付与し、この試料ステージ表面に粉末試料を懸濁させた溶媒を塗布あるいは滴下した後乾燥することにより、均一かつ薄く付着させることが可能となり、これによりチャージアップを防止し高倍率でかつ精度のよい走査電子顕微鏡観察を行うことができる。

請求項（抜粋）：

非導電性粉末試料を走査電子顕微鏡で観察するにあたり、金属製の試料ステージの表面に所定の粗さを付与し、この試料ステージ表面に粉末試料を懸濁させた溶媒を塗布あるいは滴下した後乾燥することを特徴とする非導電性粉末試料の走査電子顕微鏡観察用試料前処理方法。