特許
J-GLOBAL ID：200903097358326896
加速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-169820
公開番号（公開出願番号）：特開平11-014660
出願日： 1997年06月26日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：
【要約】【課題】 単一圧電素子を用い、簡単な構成で、しかも加速度の方位、大きさの検出信頼性の高い三次元座標系の加速度センサを提供することを目的とする。【解決手段】 外周縁部がフランジ18で支持固定されたリング状金属ベース10に、貼り合わせるリング状圧電素子11に、各軸方向加速度成分検出可能な分極処理を施し、これに対応して、X、Y、Z軸方向加速度成分検出用電極12,13,14を形成し、更にX軸、Y軸方向加速度成分検出用電極12,13面上に検出用錘12a,13aを貼り合わせた。
請求項（抜粋）：
リング状の金属ベースと、この金属ベースに接着剤で貼り合わされたX、Y、Z各軸方向の加速度成分検出用の複数個の電極を形成したリング状圧電素子とを備え、前記圧電素子のX軸、Y軸方向加速度成分検出用の電極面上には、夫々、加速度成分検出用錘を設けた加速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P 15/125
, H01L 41/08 Z
