特許
J-GLOBAL ID：200903097359339614
IC用低温ハンドラ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
綿貫 隆夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-325956
公開番号（公開出願番号）：特開平6-148268
出願日： 1992年11月11日
公開日（公表日）： 1994年05月27日
要約：
【要約】【目的】 乾燥空気供給装置及び冷凍機を大型化することなく、省エネルギーを図り、冷凍機の蒸発冷却部への着霜を防止して稼働効率を向上させ、冷却空気を安定的にチャンバー内に供給できるIC低温ハンドラを提供すること。【構成】 チャンバー10内の冷却空気を吸気する吸気口18と、チャンバー内に冷却空気を供給する供給口20とが連通され、内部に冷凍機の蒸発冷却部24が配設された冷却熱交換室22と、エアドライヤー26により乾燥された乾燥空気を冷却熱交換室22に供給する乾燥空気供給装置と、チャンバー10内の冷却空気と乾燥空気とを吸引し、蒸発冷却部24を通過させ、チャンバー10内を正圧に保つ送風機30とを具備する。
請求項（抜粋）：
ICを低温の一定温度に冷却するための冷却空気が満たされるチャンバーを有するIC用低温ハンドラにおいて、前記チャンバー内の冷却空気を循環すべく、該冷却空気を吸気する吸気口と、該チャンバー内に冷却空気を供給する供給口とが連通され、内部に冷凍機の蒸発冷却部が配設された冷却熱交換室と、前記冷却熱交換室内に、エアドライヤーにより前記蒸発冷却部の冷却温度より低温の露点に調整された乾燥空気を、前記チャンバーのICの搬出入口等から外部へ排出される冷却空気に対応して供給する乾燥空気供給装置と、前記チャンバー内の冷却空気と前記乾燥空気とを吸引し、前記蒸発冷却部を通過させ、前記チャンバー内に冷却空気を供給及び循環させると共に、該チャンバー内に外気が進入しないようにチャンバー内を正圧に保つ送風機とを具備することを特徴とするIC用低温ハンドラ。
IPC (4件)：
G01R 31/26
, F25D 13/00 101
, H01L 21/68
, H01L 21/66
