特許
J-GLOBAL ID：200903097361763059
薄板状物の外観検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京口 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-075104
公開番号（公開出願番号）：特開平6-026843
出願日： 1992年02月13日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：
【要約】【目的】薄板状物の外観検査で、X・Y方向と共にZ方向へのリードピンの変形の有無を判別し、加えて表・裏面の状態やピン固定用接着剤の固定位置の良否等をも、高精度かつ迅速に判別可能とする。【構成】搬送される薄板状物1に、表・裏側からレーザービーム光2を、その表・裏面と直交する線zの前または後方から一定角度θで、かつ搬送方向と直角方向への定速の反復照射で走査し、各側への透過光2aを画像処理して得た各2次元画像の位相差から3次元情報を得て、基準パターンとの比較照合でZ方向ヘのリードピン6の変形の有無を判別し、加えて表・裏面の各反射光2bから得た各2次元画像を基準パターンと比較照合して、表・裏面の状態の良否を判別し、かつ上記各透過光2aまたは各反射光2bから得た各2次元画像を基準パターンと比較照合して、ピン固定用接着剤7等の位置の良否をも判別する。
請求項（抜粋）：
薄板状物1が外観検査位置を通過時に、該薄板状物1の表・裏両側からレーザービーム光2を、その表・裏面と直交する線zの前または後方から一定角度θで、かつ搬送方向と直角方向へ定速で反復照射して、表面3および裏面4を各々走査し、表側と裏側からの各透過光2aを、裏側と表側の各受光センサー5で受け電気信号に変えて画像処理し、該両2次元画像についての位相差から3次元情報を得て、予め入力した基準パターンとの比較照合で、Z方向へのリードピン6の変形の有無を判別することを特徴とする、薄板状物の外観検査方法。
IPC (5件)：
G01B 11/30
, G06F 15/62 400
, G06F 15/64
, H01L 21/66
, H01L 23/50
