特許
J-GLOBAL ID：200903097362833050
真空装置及びその使用方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-031440
公開番号（公開出願番号）：特開平5-192556
出願日： 1992年01月22日
公開日（公表日）： 1993年08月03日
要約：
【要約】【目的】 真空室内の被クリーニング面を、真空室を開くことなく、容易に清浄に保つことを可能にする。【構成】 真空室13内に、被クリーニング面20Aにわずかなすき間を置いて対向可能な対向面32Aを有する対向板32を設け、対向面32Aに圧縮気体の噴出口36を設ける。クリーニング時には、対向面32Aと被クリーニング面20Aとをわずかなすき間を置いて対向させ、噴出口36から圧縮気体を噴出させることにより、被クリーニング面20Aに付着した塵埃を吹き飛ばす。
請求項（抜粋）：
真空室と、同真空室内に設けられた所定形状の被クリーニング面と、を有する真空装置において、前記被クリーニング面との相対移動により該被クリーニング面にわずかなすき間を置いて対向可能な対向面を有する対向板と、前記対向面に設けられた圧縮気体の噴出口と、からなるクリーニングユニットを、前記真空室内に設けたことを特徴とする真空装置。
IPC (2件)：
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