フロンのプラズマアーク反応方法及び装置

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：中井宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-332580
公開番号（公開出願番号）：特開平9-150055
出願日： 1995年11月27日
公開日（公表日）： 1997年06月10日
要約：

【要約】【課題】プラズマ発生領域を拡大するために、大形の交流磁場又は高周波コイル及び高周波発振器を使用しないで、小形の装置を多数分散して設備する。【解決手段】本発明のプラズマアーク反応装置は、プラズマアーク電源装置20のマイナス端子20tに接続された電極支持体11と、電極支持体11に支持された電極12と、電極支持体11の外周に配置されて、プラズマアーク電源装置20のスタート電流供給用プラス端子23tに接続されて、酸素を含むプラズマガス1を流出させ、パイロットアーク2を通過させる直径13dの貫通孔を有するプラズマ拘束ノズル13と、プラズマ拘束ノズル13の外周に配置されて、プラズマアーク電源装置20の反応アーク電流供給用プラス端子24tに接続されて、反応させる流量のフロン4を通過させる直径14d及びプラズマアークが接触してフロンと反応する直線部分の長さ又は直線部分(14f1の部分)と傾斜部分(14f2の部分)との長さ14fの貫通孔を有する反応ノズル14と、反応ノズル14を着脱可能に支持して冷却する冷却ブラケット15とを有している。

請求項（抜粋）：

電極を支持した電極支持体に、プラズマアーク電源装置のマイナス端子を接続し、プラズマアークを拘束する直径の貫通孔を有し、電極支持体の外周に配置されたプラズマ拘束ノズルに、プラズマアーク電源装置のスタート電流供給用プラス端子を接続し、反応させる流量のフロンを通過させる直径及びプラズマアークが接触してフロンと反応する部分の長さの貫通孔を有し、プラズマ拘束ノズルの外周に配置された反応ノズルに、プラズマアーク電源装置の反応アーク電流供給用プラス端子を接続し、電極とプラズマ拘束ノズルとの間に、酸素を含むプラズマガスを供給した後でスタート電流を通電して、パイロットアークを発生させ、プラズマ拘束ノズルから反応ノズルに、反応アーク電流を通電してプラズマアークを発生させ、プラズマアークが安定した後で、プラズマ拘束ノズルと反応ノズルとの間にフロンを供給して、反応させる流量のフロンをプラズマアーク中を通過させて、プラズマガスの酸素とフロンとを分解反応させるフロンのプラズマアーク反応方法。

IPC (3件)：

B01J 19/08 , A62D 3/00 ZAB , B01D 53/68

FI (3件)：

B01J 19/08 E , A62D 3/00 ZAB , B01D 53/34 134 Z

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭48-044203
特開平4-265113
特開平2-131116

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