特許
J-GLOBAL ID：200903097369938761
研磨パッドとその製造方法並びにその研磨パッドを用いたウエハの研磨方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-031551
公開番号（公開出願番号）：特開平10-225864
出願日： 1997年02月17日
公開日（公表日）： 1998年08月25日
要約：
【要約】【課題】 従来、研磨パッドの研磨面に無数の傷をつけ、その傷に研磨スラリーを溜めていたが、傷を形成する際に生じる不純物がウエハを汚染したり、傷を形成するためにドレッサを具備した研磨装置が必要であった。【解決手段】 研磨パッドの研磨面に傷を形成せずとも、研磨スラリーが滞留するのに十分な凹部を研磨面に有する研磨パッドを用いることで、ウエハの研磨において研磨パッドに研磨面に無数の傷をつける作業つまりドレッシングが不要となる。ウエハの研磨工程の中からドレッシングを省くことにより、ウエハの不純物汚染が低減され、研磨装置にドレッサは不要となり研磨装置にかかる費用が削減される。
請求項（抜粋）：
研磨スラリーを供給しながらウエハを摺接させて該ウエハの摺接面を平坦化する研磨に用いる研磨パッドにおいて、前記研磨パッドは、板状基材と、繊維材料からなる複数の繊維糸とから形成され、前記複数本の繊維糸の一端がそれぞれ前記板状基材の表面から突出していることを特徴とした研磨パッド。
IPC (2件)：
B24B 37/00
, H01L 21/304 321
B24B 37/00 C
, H01L 21/304 321 M
