特許

J-GLOBAL ID：200903097375168978

結晶素子を有するマイクロリソグラフィー投影用対物レンズ

発明者： カール-ハインツ シュースター
出願人/特許権者： カール ツァイス エスエムテー アクチエンゲゼルシャフト
代理人 (4件)： 矢野 敏雄 ,  山崎 利臣 ,  久野 琢也 ,  アインゼル・フェリックス=ラインハルト
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-544290
公開番号（公開出願番号）：特表2007-529762
出願日： 2004年12月10日
公開日（公表日）： 2007年10月25日
要約：

光学的素子、すなわち結晶質フッ化マグネシウム、石英、フッ化ランタン、サファイアおよびα-酸化アルミニウムのレンズまたは平面状の平行なプレート(端部が閉鎖されたプレートとして使用される)を有するマイクロリソグラフィー投影用対物レンズが提案される。適当な結晶学的配向、結晶10組合せ、光の偏光が記載される。適当な用途は最高の数字による開口値を使用するDUVおよびVLN領域の浸漬リソグラフィーまたは近視野リソグラフィーに関する。

請求項（抜粋）：

石英結晶からなる少なくとも1個のレンズおよびサファイア結晶からなる少なくとも1個のレンズを有するマイクロリソグラフィー投影用対物レンズ。

IPC (3件)：

G02B 13/24 ,  G03F 7/20 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G02B13/24 ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 515D

Fターム (8件)：

2H087KA21 ,  2H087LA01 ,  2H087NA04 ,  2H087UA02 ,  2H087UA03 ,  5F046AA28 ,  5F046CB12 ,  5F046DA01

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 投影露光設備
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-259725   出願人：カール・ツアイス・セミコンダクタ・マニュファクチュアリング・テクノロジイズ・アーゲー
• 投影光学系、露光装置および露光方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-101096   出願人：株式会社ニコン
• 投影光学系、露光装置、デバイス製造方法及びデバイス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-085919   出願人：キヤノン株式会社
• 光学素子、レンズ系、及び投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-305387   出願人：株式会社ニコン