特許

J-GLOBAL ID：200903097376239062

裏面露光装置、及び非線形素子基板の製造方法

発明者： 山本 睦 ,  田村 達彦 ,  小林 郁典
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-316589
公開番号（公開出願番号）：特開平8-172043
出願日： 1994年12月20日
公開日（公表日）： 1996年07月02日
要約：

【要約】【目的】 大量且つ大面積の基板を低コストで生産性よく処理し、しかも稼働率の非常に高い裏面露光装置を提供すること。【構成】 基本構成としてまず大量・大面積の基板を搬送でき、基板の裏面より光を照射することのできる構造を有する。また基板裏面に照射する光の光源として、基板表面に形成された感光性膜が光化学反応を起こす波長成分を含む光を発する長尺の直管型蛍光灯を基板搬送方向に沿って複数本並べた構造を有する。この様な装置構成により、大量の基板を連続で搬送させながら、しかも広い面積で均一な光を照射することができ、また蛍光灯1本から照射される光の強度はさほど強くないため、複数本の蛍光灯が同一箇所でまとまって切れない限り装置を止める事なく速やかに蛍光灯の交換が行えるといった特徴を有する。

請求項（抜粋）：

選択的に形成された不透明膜と全面に形成された感光性膜を形成した透光性基板の裏面より選択的に前記感光性膜に光を照射する露光装置が、前記透光性基板を一定速度で搬送する構造を有し、且つ該基板の裏面側に複数本の直管型蛍光灯が平行に並んだ構造を有し、該基板を搬送させつつ裏面より蛍光灯の光を照射できる構造を有することを特徴とする裏面露光装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  G02F 1/136 500 ,  G03F 7/20 521 ,  G09F 9/30 337 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

H01L 21/30 506 N ,  H01L 21/30 514 D ,  H01L 21/30 515 C