電子部品及びその製造方法

発明者： , , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：須山佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-119887
公開番号（公開出願番号）：特開2002-367999
出願日： 1993年08月24日
公開日（公表日）： 2002年12月20日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】信頼性の高い金属配線を備えた電子部品とその製造方法を提供する。【解決手段】基板1上の絶縁層5、非晶質薄膜3の上に、全粒界の1/2以上が、隣り合う結晶粒の配向軸を中心とした傾斜、回転及びその組み合わせでの相対角度が10度以内の粒界、Σ値が10以下の対応粒界、対応粒界からのずれが3度以内の粒界のいずれかで規定される亜粒界である高配向結晶からなる金属配線2を形成する。

請求項（抜粋）：

全粒界の1/2以上が、隣り合う結晶粒の配向軸を中心とした傾斜、回転及びその組み合わせでの相対角度が10度以内の粒界、Σ値が10以下の対応粒界、対応粒界からのずれが3度以内の粒界のいずれかで規定される亜粒界である高配向結晶からなる金属配線を備えたことを特徴とする電子部品。

IPC (2件)：

H01L 21/3205 , H01L 21/285

FI (2件)：

H01L 21/285 S , H01L 21/88 M

Fターム (45件)：

4M104BB02 , 4M104BB04 , 4M104BB08 , 4M104BB09 , 4M104BB18 , 4M104BB37 , 4M104BB39 , 4M104DD34 , 4M104DD40 , 4M104DD43 , 4M104HH01 , 4M104HH02 , 4M104HH03 , 5F033GG02 , 5F033GG04 , 5F033HH08 , 5F033HH09 , 5F033HH10 , 5F033HH11 , 5F033HH12 , 5F033HH13 , 5F033HH14 , 5F033HH18 , 5F033HH19 , 5F033HH33 , 5F033JJ19 , 5F033KK08 , 5F033KK11 , 5F033KK19 , 5F033KK29 , 5F033LL02 , 5F033LL06 , 5F033MM05 , 5F033PP04 , 5F033PP06 , 5F033PP07 , 5F033PP15 , 5F033PP19 , 5F033QQ31 , 5F033QQ37 , 5F033RR04 , 5F033SS11 , 5F033XX05 , 5F033XX06 , 5F033XX16

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開平2-252241
特開平4-324934

審査官引用 (6件)

特開平2-252241
特開平2-252241
特開平2-252241

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