特許
J-GLOBAL ID：200903097397785121
マスクパターンデータ圧縮方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 眞吉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-149697
公開番号（公開出願番号）：特開平5-342306
出願日： 1992年06月09日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：
【要約】【目的】繰り返しが未定義のマスクパターンデータを効率良く圧縮する。【構成】(11)パターンデータを読み出し、(21)その形状が登録パターンのいずれかの形状と同一であるかどうかを判定し、(31)登録パターンが無い場合、又は、両パターン形状が異なりかつ登録パターン数が予め設定された値以下であると判定した場合には、該パターンを登録パターンとして加え、(41)両パターンの形状が同一と判定した場合には、読み出したパターンの座標Xと繰返し回数を前回インクリメントしたときのパターンの座標Xとの差を算出し、(51)登録パターンデータのピッチが初期値又は該差がピッチと同一であれば登録パターンデータの繰返し個数をインクリメントし、ピッチが初期値であればピッチに該差を代入する。
請求項（抜粋）：
基本図形に分解され、X-Y直交座標系上の位置座標(X,Y)を有し、座標Y及び座標Xに関しソートされたパターンデータを圧縮処理するマスクパターンデータ圧縮方法であって、(11 )1個のパターンのパターンデータを読み出し、(21 )読み出したパターンの形状が登録パターンのいずれかの形状と同一であるかどうかを判定し、(31 )該登録パターンが無い場合、又は、両パターン形状が異なりかつ登録パターン数が予め設定された値以下であると判定した場合には、該パターンを登録パターンとして加え、該パターンの位置及び形状のデータに登録パターンのピッチ及び繰返し個数を付加したものを登録パターンデータとし、(41 )該両パターンの形状が同一と判定した場合には、読み出した該パターンの座標Xと該繰返し回数を前回インクリメントしたときのパターンの座標Xとの差を算出し、(51 )該登録パターンデータの該ピッチが初期値又は該差が該ピッチと同一であれば該登録パターンデータの該繰返し個数をインクリメントし、該ピッチが該初期値であれば該ピッチに該差を代入し、コンピュータで、該登録パターンデータをクリアした後に上記(11 )〜(51 )の処理を、座標Yの値が互いに同一のパターンデータについてソート順に実行することによりパターンデータをX軸方向に圧縮した組パターンデータを作成し、該作成を所定範囲のYについて実行することを特徴とするマスクパターンデータ圧縮方法。
IPC (2件)：
G06F 15/60 370
, G03F 1/08
