特許

J-GLOBAL ID：200903097398613626

窒化アルミニウム焼結体

発明者： 角野 裕康 ,  堀口 昭宏 ,  加曽利 光男 ,  上野 文雄
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-235242
公開番号（公開出願番号）：特開平9-077561
出願日： 1995年09月13日
公開日（公表日）： 1997年03月25日
要約：

【要約】【課題】 従来の AlN焼結体においては、機械的強度、熱伝導性、低温焼結性、導体との密着性、ガラス封止性の全てを満足させることが課題とされていた。【解決手段】 平均粒径 2μm 以下の窒化アルミニウム粒子を主成分とし、かつ希土類元素から選ばれる少なくとも 1種を酸化物換算で 1〜 8重量% 、アルカリ土類金属元素から選ばれる少なくとも 1種を酸化物換算で 0.3〜 7重量% 、およびBi、Pb、Sb、InおよびSnから選ばれる少なくとも 1種の元素を酸化物換算で 5〜25重量% 含有する窒化アルミニウム焼結体である。本発明の窒化アルミニウム焼結体は、 1973K以下の低い焼結温度で焼結することができる。

請求項（抜粋）：

平均粒径 2μm 以下の窒化アルミニウム粒子を主成分とし、希土類元素から選ばれる少なくとも 1種を酸化物換算で 1〜 8重量% 、アルカリ土類金属元素から選ばれる少なくとも 1種を酸化物換算で 0.3〜 7重量% 、およびBi、Pb、Sb、InおよびSnから選ばれる少なくとも 1種の元素を酸化物換算で 5〜25重量% 含有していることを特徴とする窒化アルミニウム焼結体。