特許
J-GLOBAL ID：200903097419057044
露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-321485
公開番号（公開出願番号）：特開平9-166415
出願日： 1987年07月14日
公開日（公表日）： 1997年06月24日
要約：
【要約】【課題】 空気の屈折率揺らぎによる干渉計の計測値の揺らぎを減少させる。【解決手段】 レーザ光源からのビームを測定用ビームと参照用ビームとに分割し、該測定用ビームを2次元平面内で移動可能な被測定物に向けて照射し、該被測定物からの反射ビームと前記参照用ビームとを重ね合わせて干渉ビームを作り、該干渉ビームを光電検出することによって、前記被測定物の位置や距離を測定する装置において、温度安定化された所定速度の気体流を発生する気体供給源と、前記測定用ビームと反射ビームの通過する空間に該ビームを横切るように前記気体供給源からの気体流を導くために、前記被測定物の2次元平面内での移動軌跡と空間的に干渉しないように前記ビームの光路の上方空間に固定的に配置された送風口を有する導風手段を備えることとした。
請求項（抜粋）：
レーザ光源からのビームを測定用ビームと参照用ビームとに分割し、該測定用ビームの被測定物からの反射ビームと前記参照用ビームとを重ね合わせて干渉ビームを作り、該干渉ビームを光電検出することによって、前記被測定物の位置や距離を測定する装置において、温度安定化されたほぼ一定速度の気体流を発生する気体供給源と;前記測定用ビームと反射ビームの通過する空間に、該ビームを横切るように前記気体供給源からの気体流を導く導風手段とを備えたことを特徴とする測定装置。
IPC (4件)：
G01B 11/00
, G01B 9/02
, H01L 21/68
, H01L 21/027
G01B 11/00 G
, G01B 9/02
, H01L 21/68 F
, H01L 21/30 502 Z
