走査モノクロメータ

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：上野英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-169284
公開番号（公開出願番号）：特開平10-325754
出願日： 1992年11月06日
公開日（公表日）： 1998年12月08日
要約：

【要約】【課題】モノクロメータの精度を高める。【解決手段】入力光ビームを分散するための第1の回折格子と該第1の回折格子を回転する手段とを備え、第1段出力光ビームを与えるための第1段モノクロメータと、前記第1段出力光ビームを分散するための第2の回折格子と該第2の回折格子を回転する手段とを備え、該第2の回折格子により前記第1段出力光ビームを再結合して第2段出力光ビーム与えるための第2段モノクロメータの間に,前記第1段出力光ビームの偏光成分を回転して前記第2の回折格子に入力せしめ、前記第2段出力光ビームを前記入力光ビームの偏光に依存しないようにするための偏光回転手段を設けた。また、前記第2段出力光ビームを入力して,該第2段出力光ビームの所定の部分を濾波して通過せしめ、選択度を高めて該走査モノクロメータの隣接ダイナミック・レンジを広げるための出力アパーチャが備えられる。

請求項（抜粋）：

後記(イ)〜(ホ)を含む走査モノクロメータ:(イ)入力光ビームを導入する手段,(ロ)前記入力光ビームを分散するための第1の回折格子と該第1の回折格子を回転する手段とを備え、第1段出力光ビームを与えるための第1段モノクロメータ,(ハ)前記第1段出力光ビームを分散するための第2の回折格子と該第2の回折格子を回転する手段とを備え、該第2の回折格子により前記第1段出力光ビームを再結合して第2段出力光ビーム与えるための第2段モノクロメータ,および(ニ)前記第1段出力光ビームの偏光成分を回転して前記第2の回折格子に入力せしめ、前記第2段出力光ビームを前記入力光ビームの偏光に依存しないようにするための偏光回転手段(ホ)前記第2段出力光ビームを入力して,該第2段出力光ビームの所定の部分を濾波して通過せしめ、選択度を高めて該走査モノクロメータの隣接ダイナミック・レンジを広げるための出力アパーチャ。

引用特許：

審査官引用 (22件)

特開昭53-074488
特開昭60-033019
特開平2-141630

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