特許

J-GLOBAL ID：200903097432982504

蒸着用電極構造、蒸着装置、蒸着方法および有機発光素子の製造方法

発明者： 稲葉 律夫 ,  松尾 三紀子 ,  岸本 良雄
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 松田 正道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-359372
公開番号（公開出願番号）：特開平11-189865
出願日： 1997年12月26日
公開日（公表日）： 1999年07月13日
要約：

【要約】【課題】 蒸着時に、不純物が飛散して基板に付着することを防止する。【解決手段】 蒸着材料11と、蒸着材料11の周囲に巻き付けられた金網12とを備える蒸着用電極構造を用いて蒸着を行う。金網12は、通電されることによって、蒸着材料11を加熱するものであるとともに、不純物の飛散を防止するものである。

請求項（抜粋）：

蒸着材料と、前記蒸着材料の周囲に巻き付けられた金網とを備え、前記金網は、通電されることによって、前記蒸着材料を加熱するものであることを特徴とする蒸着用電極構造。

IPC (3件)：

C23C 14/26 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14

FI (3件)：

C23C 14/26 A ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14 A