特許

J-GLOBAL ID：200903097434346842

表面欠陥検査方法および表面欠陥検査装置

発明者： 高木 一彰 ,  中村 正二 ,  春原 正明
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-149047
公開番号（公開出願番号）：特開平10-339621
出願日： 1997年06月06日
公開日（公表日）： 1998年12月22日
要約：

【要約】【課題】 被検査体の被検査面の表面欠陥の検査精度に優れ、かつ高速で大量生産に適した表面欠陥検査方法およびその装置を提供する。【解決手段】 回転プレート8上には該回転プレート8の回転中心が光学素子14の表面の任意の一点を通るように光学素子14を載置し、検査カメラ20の測定範囲が前記回転中心を通り、かつ前記回転プレート8が回転した際に光学素子14の表面が描く軌跡の最外周が、検査カメラ20の測定範囲の最長長さを越えないように検査カメラ20の測定範囲を調整し、検査カメラ20からの光学素子14の表面の状態に関わる信号を処理する。

請求項（抜粋）：

回転体上には該回転体の回転中心が被検査体の被検査面の任意の一点を通るように前記被検査体を載置する載置工程と、検査カメラの測定範囲が前記回転中心を通り、かつ前記回転体が回転した際に前記被検査体の被検査面が描く軌跡の最外周が、前記検査カメラの測定範囲の最長長さを越えないように前記センサの測定範囲を調整する調整工程と、前記検査カメラからの前記被検査体の被検査面の状態に関わる信号を処理する処理工程と、を含むことを特徴とする表面欠陥検査方法。