特許

J-GLOBAL ID：200903097439759363

透明板状物体の欠陥検査方法および装置並及び表示装置製造方法及び表示装置

発明者： 小原 健二 ,  望月 淳 ,  野崎 良直 ,  野口 稔 ,  小金沢 信之
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-059279
公開番号（公開出願番号）：特開平11-258171
出願日： 1998年03月11日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：

【要約】【課題】透明板状物体の微小な欠陥を高感度に検出する。【解決手段】例えば、検査対象として、カラーブラウン管に映出したラスタ画像を、開口絞りにより視野角を規制された光学系2を有するカメラ3にて撮像することによりカラーブラウン管のフェースパネルの微小な光学的欠陥を高感度に映像化する。そして、画像処理装置4にて欠陥部分の抽出処理を行うことにより透明板状物体の微小な欠陥を高感度に検出することができる。

請求項（抜粋）：

被測定物を光源により照明し、開口絞りを有する光学系により画像を撮影し、得られた画像から処理系により欠陥を抽出する透明板状物体検査方法において、照明系、撮像系を合わせた光学系において、照明用光源の位置と撮像系の絞りの位置が共役の関係にある光学系にて撮像することを特徴とする透明板状物体の欠陥検査方法。

IPC (5件)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  G02F 1/13 505 ,  G02F 1/1333 500 ,  H01J 9/42

FI (5件)：

G01N 21/88 D ,  G01B 11/30 Z ,  G02F 1/13 505 ,  G02F 1/1333 500 ,  H01J 9/42 A