可変周期振幅回折格子マスクおよびその使用方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：柳田征史 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-509782
公開番号（公開出願番号）：特表平11-514756
出願日： 1997年07月29日
公開日（公表日）： 1999年12月14日
要約：

【要約】長周期ブラッグ回折格子の製造に使用する可変周期振幅回折格子マスクが螺旋状に巻かれたスプリングにより実現される。このスプリングを伸長または圧縮することにより、マスクの周期性を変化させる。平面またはファイバの感光性光導波路が、スプリングの主要軸に沿ってスプリングコイル内に配置されている。化学放射線がマスキングされた導波路に入射され、マスクの周期性を有する導波路内に屈折率摂動を誘起する。マスクに関して導波路の異なる向きおよび/またはスプリングコイルサイズにより、線形および非線形(チャーピングされた)回折格子周期が得られる。装置および方法が記載されている。

請求項（抜粋）：

感光性光導波路の可変周期振幅回折格子マスクであって、複数の弾性的に結合された隣接マスキング領域を備え、前記マスクが該結合された隣接マスキング領域の間の間隔により規定される周期を有し、該周期が、前記マスクの縦軸方向において該マスクの非固定端部に加えられる力の関数として制御された様式で変動可能であることを特徴とするマスク。

IPC (3件)：

G02B 5/18 , G02B 6/10 , G02B 6/34

FI (3件)：

G02B 5/18 , G02B 6/10 C , G02B 6/34

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