特許

J-GLOBAL ID：200903097449408330

露光方法およびその装置

発明者： 山崎 竜也 ,  浅香 達彦 ,  武田 均 ,  佐々木 譲
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 樺澤 襄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-200642
公開番号（公開出願番号）：特開2001-027813
出願日： 1999年07月14日
公開日（公表日）： 2001年01月30日
要約：

【要約】【課題】 効率を低下させることなく精度を確保した露光方法およびその装置を提供する。【解決手段】 ずれ量が露光後切換値以上で中断限度値より小さい場合には、通常動作で長尺状の鉄板1の一連のサイクルを終え、その後ガラス乾板6,7の位置ずれを修正するため、必要な精度を確保した上で所定時間内に一連の鉄板1を露光処理できる。ずれ量が露光後切換値および中断限度値以上の場合には、一旦露光を中断してガラス乾板6,7位置ずれ量を補正した後、その後通常どおり長尺状の鉄板1を処理するため、必要以上の回数でずれ量を補正しないため所定時間内に一連の鉄板1を露光処理できる。

請求項（抜粋）：

両面に感光剤を塗布した露光対象物を露光パターンを形成した2枚の原板で挟持し、露光前にこれら2枚の原板のずれ量を検出し、この検出されたずれ量を、あらかじめ設定されている露光処理を中断して位置ずれ量を修正する中断限度値、および、この中断限度値より小さくそのまま露光処理して露光処理後に位置ずれを修正する露光後切換値と比較し、ずれ量が中断限度値より大きい場合にはずれ修正した後露光処理し、ずれ量が中断限度値以下の場合には露光処理した後ずれ修正することを特徴とする露光方法。

IPC (2件)：

G03F 9/00 ,  H01J 9/14

FI (3件)：

G03F 9/00 Z ,  H01J 9/14 G ,  H01J 9/14 H

Fターム (5件)：

2H097BA03 ,  2H097KA13 ,  2H097KA20 ,  2H097LA05 ,  5C027HH09