特許
J-GLOBAL ID：200903097449664727
物品受け取り方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
梶原 辰也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-039179
公開番号（公開出願番号）：特開平8-213445
出願日： 1995年02月03日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：
【要約】【目的】 ウエハの帯電による悪影響を防止する。【構成】 ウエハ1を真空吸着保持装置22により受け取るアーム19に、除電エア吹き付け装置30とウエハ1の帯電電位を測定する測定装置38とを設ける。【効果】 ウエハ1が帯電していたとしても、除電エアの吹き付けで帯電を低減されるため、帯電の反発力や吸引力によるアームのウエハ保持位置のずれや、帯電の放電による悪影響を防止できる。ウエハの帯電電位を測定し測定値が設定値以上で除電エアを吹き付けることで、除電エアの浪費や作業性の低下を防止でき、ウエハの除電エアによる汚染の危険性を必要最小限度に抑制できる。アームに除電気体吹き付け装置帯電電位測定装置を配設することで大形化を防止できる。
請求項（抜粋）：
受け取りアームが被受け取り物品をこの物品に接近して保持することによって受け取る物品受け取り方法において、前記受け取りアームが前記被受け取り物品を保持する以前に被受け取り物品の帯電を低減させる除電気体が被受け取り物品に吹き付けられることを特徴とする物品受け取り方法。
IPC (2件)：
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