特許

J-GLOBAL ID：200903097450923361

ステージ装置

発明者： 鈴木 繁
出願人/特許権者： ウシオ電機株式会社
代理人 (1件)： 長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-169187
公開番号（公開出願番号）：特開平8-025163
出願日： 1994年07月21日
公開日（公表日）： 1996年01月30日
要約：

【要約】【目的】 ステージの位置、回転量を簡単に制御できるようにするとともに、ステージが熱伸縮した際の制御精度の低下を防止すること。【構成】 ベース15上にステージ16が移動可能かつ回転可能に支持されている。ステージ16にはローラ41c,42c,43cが設けられたローラ保持部材41,42,43が取り付けられており、ローラ41c,42c,43cは各軸の駆動機素21,22,23により駆動される駆動ガイド21d,22d,23dに接している。ステージ16をX軸方向もしくはY軸方向に移動させる場合には、駆動機素21,22もしくは駆動機素23によりローラ41c,42cもしくはローラ43cを移動させる。また、ステージ16を回転させる場合には、駆動機素21,22,23によりローラ41c,42c,43cをステージ16を回転させる方向に等しい距離移動させる。

請求項（抜粋）：

少なくとも3つの駆動機素を備え、該駆動機素により基準軸に対して垂直な平面内でステージを2方向に直線移動させると共に、上記基準軸を中心に回転させるステージ装置において、上記基準軸を含む第1の平面上に、ステージの第1および第2の被駆動機素を設け、基準軸を含み第1の平面に交わる第2の平面上に、ステージの第3の被駆動機素を設け、また、上記第1および第2の平面と平行な方向に移動可能に上記3つの被駆動機素と係合する駆動ガイドを設け、上記駆動機素が上記駆動ガイドにより被駆動機素を第1、第2の平面と直交する方向に移動させることにより、ステージを回転/移動させることを特徴とするステージ装置。

IPC (5件)：

B23Q 1/25 ,  B23Q 5/22 ,  G01N 21/88 ,  G03F 9/00 ,  G12B 5/00

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開平3-056895
  
• 特開平2-139146
  
• 特開昭64-071640
  
• 特開昭62-282294
  

審査官引用 (4件)

• 特開平3-056895
  
• 特開平2-139146
  
• 特開昭64-071640
  
• 特開昭62-282294