特許

J-GLOBAL ID：200903097452243880

マイクロ振動体

発明者： 堀 憲治 ,  小林 真司
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 五十嵐 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-363559
公開番号（公開出願番号）：特開平11-183178
出願日： 1997年12月16日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：

【要約】【目的】 装置の設計に制約を受けることなく励振の共振周波数を自在に微調整できるマイクロ振動体を提供する。【解決手段】 重り振動部1を梁8によって両側から支持し、駆動電極2に印加されるAC励振電圧により重り振動部1を基板10に対して励振駆動させる。重り振動部1には移動側電極6A,6Bを設け、各電極6A,6Bに対向して固定電極5A,5Bを設け、固定電極5A,5BにACバイアスを印加する。このACバイアスの位相を調整することによってマイクロ振動体の励振の共振周波数を調整するAC位相調整手段を設け、AC位相調整手段によってACバイアスの位相を調整することにより、移動側電極6A,6Bと固定電極5A,5Bとの間の静電引力を自在に調整し、マイクロ振動体の共振周波数の増減を図る。

請求項（抜粋）：

基板に配置された重り振動部と、該重り振動部を両側から支持する梁と、重り振動部を基板に対して励振駆動させる駆動電極とを有し、該駆動電極に印加されるAC励振電圧によって前記重り振動部を励振駆動させる方式のマイクロ振動体において、前記重り振動部には移動側電極が設けられ、該移動側電極と対向して固定電極が設けられ、該固定電極と移動側電極の一方側にACバイアスを加えるACバイアス印加部を備え、該ACバイアスの位相を調整することによってマイクロ振動体の励振の共振周波数を調整するAC位相調整手段が設けられていることを特徴とするマイクロ振動体。

IPC (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G03B 5/00

FI (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G03B 5/00 G