特許
J-GLOBAL ID:200903097452391871

対物レンズ走査型顕微鏡

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-121367
公開番号(公開出願番号):特開平7-333506
出願日: 1994年06月02日
公開日(公表日): 1995年12月22日
要約:
【要約】【目的】本発明は、中間像の大きさ像の明るさを確保し、且つレンズ設計及び機械設計の容易化を図ることを目的とする。【構成】対物レンズ3の光軸を第1方向へ折り曲げる第1のミラー4と、第1方向へ折り曲げられた光軸上に配置された第1の結像レンズ5と、第1方向へ移動自在に設けられ対物レンズ3、第1のミラー4及び第1の結像レンズ5が固定された対物ユニット1と、光軸を第2方向へ折り曲げる第2のミラー8-1と、第2方向へ折り曲げられた光軸を第1方向と平行な方向へ折り返す第3のミラー8-2と、第2のミラー8-1及び第3のミラー8-2が固定され第1方向へ移動自在に設けられた折返しミラーユニット8と、第3のミラー8-1で折り返された光軸に設けられた第2の結像レンズ9と、対物ユニット1と折返しミラーユニット8とを2:1の割合で第1方向へ同時に移動させる駆動機構とを具備する。
請求項(抜粋):
標本に対して対物レンズを走査し前記対物レンズから入射する標本像の光束を所定位置に固定された接眼レンズへ導く対物レンズ走査型顕微鏡において、前記対物レンズである無限遠設計対物レンズに標本側から入射して通過した光束の光軸を第1方向へ折り曲げる第1のミラーと、前記第1のミラーで第1方向へ折り曲げられた光軸上に配置された第1の結像レンズと、前記第1方向へ移動自在に設けられ、前記無限遠設計対物レンズ、前記第1のミラー及び前記第1の結像レンズが取付け固定された対物ユニットと、前記第1のミラーで第1方向へ折り曲げられた光軸を第2方向へ折り曲げる第2のミラーと、前記第2のミラーで第2方向へ折り曲げられた光軸を、前記第1のミラーで第1方向へ折り曲げられた光束の光軸と同一平面内でかつ前記第1方向と平行な方向へ折り返す第3のミラーと、前記第2のミラー及び前記第3のミラーが取付け固定され前記第1方向へ移動自在に設けられた折返しミラーユニットと、前記第3のミラーで折り返された光軸上に設けられ前記接眼レンズに至る光路上に第2次像を結ぶ第2の結像レンズと、前記対物ユニットと前記折返しミラーユニットとを2:1の割合で前記第1方向へ同時に移動させる駆動機構とを具備したことを特徴とする対物レンズ走査型顕微鏡。

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