特許
J-GLOBAL ID：200903097452629452

電子ビーム照射装置の静電偏向器

発明者：
阿部 智彦

阿部 智彦 について

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大饗 義久

大饗 義久 について

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加藤 良二

加藤 良二 について

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芦原 和人

芦原 和人 について


出願人/特許権者：
株式会社アドバンテスト

株式会社アドバンテスト について


代理人 (1件)： 石田 敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-024947
公開番号（公開出願番号）：特開2000-223054
出願日： 1999年02月02日
公開日（公表日）： 2000年08月11日
要約：
【要約】【課題】 露光位置精度の低下の原因となる不導体の保持部材のチャージアップを低減して、露光の位置精度を低下を防止する。【解決手段】 不導体材料で作られた筒状の保持部材22と、保持部材の内側の周方向に互いに分離して固定される少なくとも表面の一部が導電性である複数の電極11とを備える静電偏向器であって、保持部材22が隣接する電極の間に面する部分に筒の軸方向と平行な方向に延びる開口部30を有る。又は、複数の電極11が保持部材22より電子ビームの出射方向に伸びている。又は、保持部材22が独立した複数の保持ユニット22a,22bを備え、複数の保持ユニットの長さの合計は電極11の長さより十分に短い。
請求項（抜粋）：
不導体材料で作られた筒状の保持部材と、該保持部材の内側の周方向に互いに分離して固定される少なくとも表面の一部が導電性である複数の電極とを備える電子ビーム照射装置の静電偏向器において、前記保持部材は、隣接する前記電極の間に面する部分に、筒の軸方向と平行な方向に延びる開口部を有することを特徴とする電子ビーム照射装置の静電偏向器。
FI (3件)：
H01J 37/147 C ,  H01J 37/147 A ,  H01J 37/147 B
Fターム (3件)：
5C033EE01 ,  5C033FF01 ,  5C033GG02
引用特許：
審査官引用 (11件)
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