特許
J-GLOBAL ID：200903097463420873
走査型トンネル顕微鏡および情報記録再生装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-156965
公開番号（公開出願番号）：特開平5-346303
出願日： 1992年06月16日
公開日（公表日）： 1993年12月27日
要約：
【要約】【目的】 走査型トンネル顕微鏡および情報記録再生装置を、トンネルバリアハイト信号およびカレント信号の距離依存性または微分コンダクタンス信号およびカレント信号のバイアス電圧依存性を容易に得ることができるようにする。【構成】 走査型トンネル顕微鏡10は、基準クロック発生回路21で発生された基準クロックRCに同期してZ変位信号発生回路22で発生されたZ変位信号発生信号ΔZにより、同図図示Z軸方向に探針11を強制的に移動させながら、基準クロックRCに同期してタイミング信号発生回路24で発生された第1乃至第3のトンネルバリアハイトタイミング信号TB1〜TB3により、時分割サンプリング回路25でトンネルバリアハイト信号log(Jt)/dz をそれぞれサンプリングする点で、従来の走査型トンネル顕微鏡と異なる。
請求項（抜粋）：
試料の表面と垂直方向に探針を高周波で微動させながら該探針を該試料の表面に沿って走査させたときに該探針と該試料の表面との間の相互作用により生じるトンネル電流を検出して、カレント信号,トポ信号およびトンネルバリアハイト信号をそれぞれ得る走査型トンネル顕微鏡において、前記探針を前記試料の表面に沿って走査させる周波数よりも大きくかつ前記探針を前記試料の表面と垂直方向に微動させる周波数よりも小さい周波数で、前記試料の表面と垂直方向に前記探針を強制的に移動させる探針移動手段と、前記探針を前記試料の表面に沿って走査させる周波数よりも大きくかつ前記探針を前記試料の表面と垂直方向に微動させる周波数よりも小さい周波数を有する、互いに位相が異なる、複数のタイミング信号を発生するタイミング信号発生手段と、前記各タイミング信号により前記トンネルバリアハイト信号をそれぞれサンプリングする時分割サンプリング手段とを含むことを特徴とする走査型トンネル顕微鏡。
IPC (3件)：
G01B 7/34
, G11B 9/00
, H01J 37/28
