ワイヤソーの加工液供給装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-019850
公開番号（公開出願番号）：特開2000-218540
出願日： 1999年01月28日
公開日（公表日）： 2000年08月08日
要約：

【要約】【課題】インゴットをウェーハに切断するワイヤソーにおいて、ワイヤソーの切断部に加工液を供給する加工液供給装置を軽量コンパクト化する。【解決手段】本発明は、ワイヤソー10の加工液回収タンク40に設けられた回収ポンプ66を、回転数の高い加工液供給モードと、回転数の低い加工液攪拌モードとに切り換えて運転させることにより、回収ポンプ66を攪拌装置として兼用する。回収ポンプ66の運転が加工液供給モードに切り換えられると、回収ポンプ66の回転数が高くなり、加工液回収タンク40の加工液が加工液タンク46へ送液される。そして、回収ポンプ66の運転が加工液攪拌モードに切り換えられると、回転数が低くなり、加工液の供給が停止して加工液がそのインペラ67、及び攪拌翼97で攪拌される。

請求項（抜粋）：

ワイヤ列に被加工物を押し付け、該被加工物を多数枚のウェーハに切断するワイヤソーに設けられ、被加工物の切断部に供給する加工液が貯留されるタンクと、該タンクに貯留された加工液を前記ワイヤソーの切断部に供給するためのポンプとから構成されたワイヤソーの加工液供給装置において、前記加工液供給装置の前記ポンプは、回転数の高い加工液供給モードと、回転数の低い加工液攪拌モードとに切り換えて運転されることを特徴とするワイヤソーの加工液供給装置。

IPC (2件)：

B24B 57/02 , B24B 27/06

FI (2件)：

B24B 57/02 , B24B 27/06 D

Fターム (9件)：

3C047GG14 , 3C047GG18 , 3C058AA05 , 3C058AA18 , 3C058AC04 , 3C058CA05 , 3C058CA06 , 3C058CB05 , 3C058DA03

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