搬送装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-050843
公開番号（公開出願番号）：特開平6-263219
出願日： 1993年03月11日
公開日（公表日）： 1994年09月20日
要約：

【要約】【目的】基板の吸着が不完全な場合であっても、そのまま基板の搬送を安全に継続することが可能な搬送装置を提供する。【構成】搬送アーム3に対する基板1の吸着状態を検出するバキュームセンサ5に加えて、搬送アーム3の移動経路中に基板の存在を検出する超音波センサ6を設ける。バキュームセンサ5と超音波センサ6との両方で基板1を検出した場合は、所定の移動速度で搬送アーム3を移動する。超音波センサ6のみで基板を検出した場合は、所定の移動速度より減速して搬送アームを移動する。超音波センサ6が基板を検出しない場合は、搬送アームの移動を停止する。

請求項（抜粋）：

基板を載置して移動する搬送手段と、該搬送手段に対して前記基板を吸着する吸着手段と、該吸着手段による前記基板の吸着状態を検出する吸着状態検出手段とを備え、前記基板を所定の位置に搬送する搬送装置において、前記搬送手段の移動中に、前記基板が前記搬送手段上に存在するか否かを非接触で検出する基板検出手段と;前記吸着状態検出手段による検出結果に基づいて前記搬送手段の移動速度を変化させるとともに、前記基板検出手段による検出結果に基づいて前記搬送手段の移動を停止する搬送制御手段とを備えたことを特徴とする搬送装置。

IPC (5件)：

B65G 1/137 , B65G 49/07 , H01L 21/027 , H01L 21/68 , H01L 29/84

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-192346
特開平2-050455
特開平4-192346

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