ディスクの反り形状表示方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋勝利
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-093805
公開番号（公開出願番号）：特開平10-089936
出願日： 1997年04月11日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】ディスクの反り形状を二次元座標平面上に三次元的に可視化して表示する方法。【解決手段】ディスクAの表面に対して垂直な方向からのレーザービームの連続的な照射手段Bとディスクの半径方向の反りに基づく、反射ビームの正反射位置からの振れを検出する位置検出手段Cを有し、照射手段と反射ビーム位置検出手段の相対位置が固定された一体化構造のヘッドDを形成する。該検出ヘッドDをディスクの半径方向に平行移動するか、又はディスクを検出ヘッドとの相対位置を保ったまま該半径方向に移動する、いずれか一方の手段Eと、ディスクを回転する手段Fとディスクの回転位置を読み取る手段Gと、反射ビームの位置検出手段及び回転位置読み取り手段からの信号を、一定の時間間隔で抽出したものを記録手段Hと記録した信号の演算手段Iにより、可視的に表示するディスク反り形状表示方法である。

請求項（抜粋）：

光反射性を有する円形デスク(A)の反り形状を測定する方法であって、前記デスク(A)の表面に対して垂直な方向から、レーザービームを連続的に照射する照射手段(B)と、前記デスク(A)の半径方向の反りに基づく、前記反射ビームの正反射位置からの振れを検出する位置検出手段(C)を有し、かつ、前記照射手段(B)と前記反射ビーム位置検出手段(C)の相対位置が固定されていて、一体化構造のもの(以下検出ヘッド(D)と称す)であって、前記検出ヘッド(D)が前記デスク(A)の半径方向に相対的に平行移動するか、又はデスク(A)が検出ヘッド(D)の相対位置を保ったままその半径方向に平行移動する、いずれか一方の手段(E)と、前記デスク(A)を回転する手段(F)と、前記デスク(A)の回転位置を読み取る手段(G)と、前記反射ビームの位置検出手段(C)及び前記回転位置読み取り手段(G)からの信号を、一定の時間間隔で抽出し、前記抽出したものを記録する手段(H)と、前記記録した信号を演算処理する手段(I)とを有し、前記デスク(A)を前記回転手段(F)で回転しながら、前記検出ヘッド(D)から前記デスク(A)の表面に照射したスポットを、前記平行移動手段(E)により、前記デスク(A)の光反射面内で半径方向に相対移動させた時の、前記デスク(A)の半径方向の反りに起因する前記反射ビームの位置の変化を、前記デスク(A)の回転角度に対応させて、前記信号記録手段(H)に保存し、前記演算処理手段(I)により演算し、それによって得た出力情報を、可視的に表示するデスク反り形状表示方法であって、前記信号記録手段(H)で記録を開始した、前記デスク(A)の内周側の所定位置を含み、前記入射ビームと垂直に交差する面を基準面とし、前記基準面と前記デスク回転軸とが交差する点を座標原点とし、前記デスク(A)の内周側第1周めにおける走査位置での反りの値は便宜上無視し、前記出力信号記録手段(I)の第1周目に対応する情報に基づいて、第2周め走査位置における変位量を求め、以下同様に、n周めに対応する情報に基づいて、第n+1周め走査位置における変位量を求め、かかる順序によって次々に求めた各走査位置での変位量を、同一半径上で加え合わせることによって、前記デスク(A)の半径位置及び角度位置における前記基準面からの距離Tを求め、前記デスク(A)の反り形状を概略立体的に表示するために、前記レーザービームが前記基準面上に描く軌跡を略楕円状に表示し、この際に、略楕円の式のy成分に、各走査位置における前記基準面からの距離Tを加え合わせることによって、前記デスク(A)の反り形状を、2次元座標平面上に3次元的に可視化して表示することを特徴とする前記デスク(A)の歪み形状表示方法。

IPC (3件)：

G01B 11/24 , G01B 7/26 , G11B 7/095

FI (3件)：

G01B 11/24 M , G01B 7/26 , G11B 7/095 G

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