特許
J-GLOBAL ID：200903097478045017
半導体工場自動化装置及びその自動化システム並びにその自動化方法
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
瀬谷 徹 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-195216
公開番号（公開出願番号）：特開2001-068392
出願日： 2000年06月28日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 半導体ウェーハロットに相応する半導体測定データを有するトレースファイルで工程レシピを再設定する半導体工場自動化システム及び方法。【解決手段】 工程レシピ再設定装置において、半導体ウェーハロットに相応する一連の半導体工程条件を示し、工程レシピに応じて半導体ウェハロットを処理する手段、処理半導体ウェーハロットの測定データを生成する半導体測定手段、半導体ウェーハロットに相応する工程レシピ・半導体測定データ・ロット識別子を含むトレースファイルに半導体測定データを記録する手段、入力工程レシピ・ロット識別子を半導体処理手段に伝送する手段、トレース内の半導体測定データを検索する手段、工程レシピが適合しないと、入力再設定命令に応答して工程レシピを再設定する手段、オペレータインターフェース手段を含み、オペレータは検索された半導体測定データと基準データの比較により工程レシピの適合判断を行う。
請求項（抜粋）：
工程レシピ(process recipe)を再設定するための装置において、半導体ウェーハロットに相応する一連の半導体工程条件を示し、以前に設定された上記工程レシピに応じて少なくとも一つの半導体ウェーハロットを処理するための半導体処理手段と、上記処理された半導体ウェーハロットを測定して半導体測定データを生成する半導体測定手段と、上記半導体ウェーハロットに相応する上記工程レシピ、上記半導体測定データ及びロット識別子を含むトレースファイル(trace file)に上記半導体測定データを記録するための記録手段と、オペレーターから入力された上記工程レシピ及び上記ロット識別子を上記半導体処理手段に伝送するための伝送手段と、上記オペレーターから入力された検索命令に応答して上記トレースに含まれた上記半導体測定データを検索するための検索手段と、上記工程レシピが適合しなかったら、上記オペレーターから入力された再設定命令に応答して上記工程レシピを再設定するための再設定手段とを含んで、上記オペレーターとインターフェースするためのオペレーターインターフェース手段を含んで、ここで上記オペレーターは、上記工程レシピが適合するかを判断するために上記検索された半導体測定データと基準データとを比較することを特徴とする半導体工場自動化装置。
IPC (2件)：
H01L 21/02
, G06F 17/60 106
H01L 21/02 Z
, G06F 17/60 106
