特許

J-GLOBAL ID：200903097484568455

ZnO-SnO2 系透明導電性膜

発明者： 高塚 裕二
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
代理人 (1件)： 田中 増顕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-209247
公開番号（公開出願番号）：特開平9-035535
出願日： 1995年07月25日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：

【要約】【課題】 抵抗の低いZnO-SnO2 系透明導電性膜を提供する。【解決手段】 ZnO-SnO2 系透明導電性膜において、Sn/Znを0.6から0.75にする。また、添加物として、Al、Ga、In等の3族元素を0.1atm%以上5atm%以下含有させてもよい。

請求項（抜粋）：

ZnO-SnO2 系透明導電性膜において、Sn/Znが0.6から0.75であることを特徴とするZnO-SnO2 系透明導電性膜。

IPC (4件)：

H01B 5/14 ,  C01G 19/00 ,  C23C 14/08 ,  G02F 1/1343

FI (5件)：

H01B 5/14 A ,  C01G 19/00 A ,  C23C 14/08 C ,  C23C 14/08 D ,  G02F 1/1343