特許

J-GLOBAL ID：200903097493970398

固定器具及び該固定器具の取り外し方法、並びに半導体製造装置及びウェハの処理方法

発明者： 中野 豊
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-318869
公開番号（公開出願番号）：特開2000-145729
出願日： 1998年11月10日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：

【要約】【課題】 固定対象たるシャフト部から容易に取り外し可能なハブを得る。【解決手段】 まず、直径が5mmのネジ13及びワッシャ14をハブ3から取り外す。次に、取り外したネジ13を、切り込み19側からネジ穴20に螺挿する。このとき、ネジ13の長さはネジ穴20の長さよりも長いので、ネジ13の先端は第1の面15から突出する。次に、直径が8mmのネジ22を、切り込み18側からネジ穴21に螺挿する。ネジ22をネジ穴21に螺挿することによりネジ22の先端が第2の面16から突出すると、ネジ13とネジ22とが互いに押し合い、その力によって隙間17が広がる。その結果、開口部11の側面によるシャフト部10の挟着が解かれる。その後、ハブ3をシャフト部10から取り外す。

請求項（抜粋）：

固定対象たるシャフトの径と略同径のシャフト挿通口と、該シャフト挿通口を割る割り溝とを備え、該割り溝を挟んで対峙する第1及び第2の面をそれぞれ含む第1及び第2の片部を接離させて前記割り溝を開閉することにより、前記シャフトを前記シャフト挿通口に挿脱したり、前記シャフト挿通口の側面によって前記シャフトを挟着することが可能な固定器具であって、前記第1の片部は、前記第1の面から前記第1の片部内に形成された第1のネジ穴を有し、前記第2の片部は、前記固定器具の外周縁から形成された第1の切り込みと、該第1の切り込みと前記第2の面との間で前記第2の片部を貫通する第2のネジ穴とを有し、前記第2のネジ穴の径は、前記第1のネジ穴の径よりも大きいことを特徴とする固定器具。

IPC (2件)：

F16B 2/06 ,  F16D 1/06

FI (2件)：

F16B 2/06 A ,  F16D 1/06 H

Fターム (8件)：

3J022DA11 ,  3J022EA41 ,  3J022FA02 ,  3J022FB07 ,  3J022FB12 ,  3J022GA03 ,  3J022GA14 ,  3J022GB90