特許
J-GLOBAL ID：200903097494674563
プラズマエッチング用電極板
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
安富 康男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-220294
公開番号（公開出願番号）：特開平10-050678
出願日： 1996年08月02日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：
【要約】【課題】 パーティクルによる被エッチング固体材料の汚染を防止し、エッチング製品の生産性を向上させることができるプラズマエッチング用電極板を提供する。【解決手段】 厚さ方向に貫通細孔が設けられているプラズマエッチング用電極板において、上記貫通細孔が、厚さ方向に対する傾斜角を有して設けられているプラズマエッチング用電極板。
請求項（抜粋）：
厚さ方向に貫通細孔が設けられているプラズマエッチング用電極板において、前記貫通細孔が、厚さ方向に対する傾斜角を有して設けられていることを特徴とするプラズマエッチング用電極板。
IPC (3件)：
H01L 21/3065
, C23F 4/00
, C30B 33/12
H01L 21/302 B
, C23F 4/00 A
, C30B 33/12
