特許

J-GLOBAL ID：200903097500713126

立体形状計測用の撮像装置

発明者： 米山 寿一 ,  野村 仁
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-022174
公開番号（公開出願番号）：特開平11-218415
出願日： 1998年02月03日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、光切断法に基づいて、立体形状計測用の画像を撮像する撮像装置に関し、一般光のもとにおいても立体形状計測用の画像を撮像することができる撮像装置を提供することを目的とする。【解決手段】 試料に対しスリット光を照射する照射部と、スリット光の照射方向とは異なる角度から試料を撮像し、少なくとも2コマ分の画素出力を生成する撮像部と、撮像部による「一方のコマ」の撮像時にスリット光を点灯し、「他方のコマ」の撮像時にスリット光を消灯する制御手段と、撮像部により撮像された前記2コマの画素出力について画素単位に差異をとり、差異信号を生成する比較部とを備えて、立体形状計測用の撮像装置を構成する。

請求項（抜粋）：

試料に対しスリット光を照射する照射部と、前記スリット光の照射方向とは異なる角度から前記試料を撮像し、少なくとも2コマ分の画素出力を生成する撮像部と、前記撮像部における「一方のコマ」の撮像時に前記スリット光を点灯し、「他方のコマ」の撮像時に前記スリット光を消灯する制御手段と、前記撮像部により撮像された前記2コマ分の画素出力について差異をとり、差異信号を生成する比較部とを備えたことを特徴とする立体形状計測用の撮像装置。

IPC (3件)：

G01B 11/24 ,  G06T 7/00 ,  G06T 1/00

FI (3件)：

G01B 11/24 K ,  G06F 15/62 415 ,  G06F 15/64 M